3月10日，截止午间收盘，半导体设备ETF（159516）跌1.34%，报1.105元，成交额7660.57万元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，北方华创截止午盘跌2.18%，中微公司跌4.50%，沪硅产业跌5.98%，华海清科跌0.53%，南大光电涨0.39%，拓荆科技跌2.22%，长川科技跌0.80%，TCL科技跌1.05%，鼎龙股份跌1.65%，中科飞测跌0.67%。

半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为12.09%，近一个月回报为7.83%。

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