3月5日，半导体材料ETF（562590）涨0.53%，成交额1465.77万元。当日份额减少100.00万份，最新份额为2.96亿份，近20个交易日份额减少5500.00万份。最新资产净值计算值为3.38亿元。

半导体材料ETF（562590）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为华夏基金管理有限公司，基金经理为单宽之，成立（2023-10-09）以来回报为14.35%，近一个月回报为10.46%。

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