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英诺激光:高功率超快激光支撑euv光源预脉冲技术成果

投资者提问:

公司目前在高功率超快激光支撑euv光源预脉冲技术上,有哪些技术成果?

董秘回答(英诺激光SZ301021):

尊敬的投资者,您好!“高功率薄片激光器”项目处在开发过程中。感谢您的关注!

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