3月20日，截止午间收盘，半导体设备ETF（159516）跌0.19%，报1.069元，成交额2886.37万元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，北方华创截止午盘跌1.10%，中微公司跌1.20%，沪硅产业涨0.41%，华海清科跌0.42%，南大光电涨0.30%，拓荆科技跌0.45%，长川科技跌0.02%，TCL科技跌0.64%，鼎龙股份跌0.36%，中科飞测跌1.59%。

半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为7.08%，近一个月回报为-1.72%。

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