3月21日，半导体设备ETF（159516）开盘跌0.19%，报1.055元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，北方华创开盘涨0.13%，中微公司跌0.26%，沪硅产业跌0.57%，华海清科跌0.01%，南大光电涨0.03%，拓荆科技涨0.06%，长川科技跌0.36%，TCL科技跌0.21%，鼎龙股份跌0.29%，中科飞测跌0.56%。

半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为5.78%，近一个月回报为-3.02%。

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