3月21日，截止午间收盘，芯片设备ETF（560780）跌1.82%，报1.133元，成交额257.88万元。芯片设备ETF（560780）重仓股方面，北方华创截止午盘跌2.90%，中微公司跌1.31%，沪硅产业跌2.31%，华海清科涨0.75%，南大光电跌1.88%，拓荆科技跌0.72%，长川科技跌1.77%，TCL科技跌2.14%，中科飞测跌4.29%，鼎龙股份跌1.58%。

芯片设备ETF（560780）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为广发基金管理有限公司，基金经理为夏浩洋，成立（2023-12-01）以来回报为15.39%，近一个月回报为-2.80%。

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