2025年3月21日，半导体设备ETF（561980.SH）收跌1.73%，主力资金（单笔成交额100万元以上）净流出926.86万元，居可比基金第一。

       拉长时间看，该基金近2天主力资金加速流出，合计流出1056.34万元，居可比基金第一。

       与此同时，该基金最新成交量为5203.00万份，最新成交额达6859.09万元，当日主力资金净流出成交额占比达13.51%。

       半导体设备ETF（561980.SH），场外联接(A类：020464；C类：020465）。