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国林科技SZ300786:臭氧在半导体行业的应用及子公司主营业务产品介绍

投资者提问:

公司的光刻机业务能爆发吗

董秘回答(国林科技SZ300786):

尊敬的投资者,您好。臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程。子公司国林半导体目前主营业务产品包括:臭氧气体发生器、臭氧气体输送设备、半导体级高浓度臭氧水系统、臭氧水溶浓度检测仪、臭氧尾气分解器等,可应用于半导体、光伏、电子光电等微观制程领域,目前占公司营业收入比重较小。感谢您的关注。

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