4月1日，半导体设备ETF（159516）涨1.84%，成交额1.33亿元。当日份额减少3100.00万份，最新份额为20.01亿份，近20个交易日份额增加2.07亿份。最新资产净值计算值为21.00亿元。

半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为4.95%，近一个月回报为-3.30%。

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